微电子技术的主要特征是什么？

微电子技术的主要特征是什么？

微电子技术是以集成电路技术为代表，制造和使用微小型电子元件、器件和电路，实现电子系统功能的新型技术学科，它也特指大规模集成电路的制造和运用技术。

微电子技术与传统电子技术相比，其主要特征是器件和电路的微小型化。它把电路系统的设计和制造工艺紧密结合起来，适于进行大规模的批量生产，因而成本低和可靠性高。超微细加工技术的日益完善，使生产上达到亚微米以至更高的光刻水平，其集成度已超越每片10～10个元件。高质量的超薄氧化层、新的离子注入退火技术、高电导高熔点金属及其硅化物金属化和浅欧姆接触、晶体完整性好的大直径芯片、低温加工等一系列工艺技术的迅速进展，将使微电子器件及其集成电路性能获得更大改善。如果没有微电子技术，今天的微型计算机、卫星通信、机器人都是不可想象的。在21世纪，微电子技术是改变生产和生活面貌的先导技术。